2025 年 3 月 26 日 - 28 日，全球半导体产业的年度盛会 SEMICON China 在上海新国际展览中心（浦东）成功举办。作为大族激光集团（股票代码：002008.SZ，简称 “大族激光”）旗下专注于泛半导体设备领域的核心企业，苏州大族芯科技有限公司在展位精彩亮相。此次展会，公司聚焦核心产品微翘曲涂胶显影机进行重点展示，为期三天的展会接待全球访客超 5000 人次，与 200 余家行业企业就该设备展开深度交流，凭借其突出的技术优势，向全球彰显了在涂胶显影设备领域的突破，收获了行业伙伴的广泛关注与高度认可。

展会亮点：单一展位聚焦核心，微翘曲涂胶显影机成绝对焦点

苏州大族芯科技的展位以微翘曲涂胶显影机为核心展示内容，采用开放式布局设计，搭配动态演示屏与实物操作区，让参观者能直观感受设备的运行流程与核心性能。为期三天的展会中，展位日均接待访客超 1600 人次，高峰时段排队等候交流的访客排起长龙，吸引了来自全球各地的行业专家、企业代表、科研人员等驻足交流、深入探讨。

作为大族激光布局半导体设备全产业链的核心载体，公司此次集中资源在该展位展示微翘曲涂胶显影机，全面展现了在泛半导体行业涂胶显影自动化专业设备领域的研发与生产实力。这款专为微翘曲晶圆加工研发的设备，凭借针对性解决行业痛点的创新设计，成为现场绝对焦点，单日接待专业咨询超 300 次。

在展会现场，通过实物展示和动态演示，参观者清晰了解到其核心优势：片盒数量支持 2&3CS，能满足不同规模生产需求；适配圆片类型 wafer，支持 2C2D、4C、4D 多种配置；兼容 Si、Glass、Sapphire、GaN、GaAs、SiC 等多元衬底材料，覆盖 25-300mm（2-12 寸）晶圆尺寸；适配 g-line、i-line、Pl 等主流工艺，广泛应用于化合物半导体、功率器件、MEMS、射频集成电路、LED、光学玻璃等领域。

其五大技术亮点——2-12 寸晶圆全兼容、优异的均匀性和低缺陷、微翘曲晶圆稳定传输、微翘曲晶圆加热吸附、晶圆位置实时校准，更是成为参观者与技术人员交流的重点。许多行业人士在现场操作体验后表示，微翘曲晶圆加工一直是生产中的难题，这款设备的出现为解决这一问题提供了切实可行的方案，其稳定传输系统与加热吸附技术的结合，能将晶圆加工良率提升 15% 以上，具有很高的市场价值。

成果丰硕：技术交流深入，围绕设备达成广泛合作意向

苏州大族芯科技此次参展不仅是对微翘曲涂胶显影机的一次集中展示，更是围绕该设备与行业伙伴展开的一场深入交流与合作洽谈。展会期间，公司的技术团队与众多行业伙伴就该设备的技术细节、应用场景拓展、实际生产中的问题解决方案等进行了深入探讨，累计开展小型技术研讨会 12 场，参与人数超 300 人。

在技术交流中，不少行业专家对苏州大族芯科技依托大族激光集团三十余年激光及智能制造技术积淀所形成的研发实力表示赞赏。某知名半导体企业的技术总监在交流中提到：“苏州大族芯科技的微翘曲涂胶显影机在细节处理上非常到位，尤其是实时校准功能，精度能控制在 ±1μm 以内，完全达到国际一线水平。” 专家们普遍认为，公司在微翘曲晶圆加工领域的技术突破，体现了国内泛半导体设备企业的创新能力。同时，公司在该设备研发、生产质量、客户服务等方面的竞争优势，也得到了广泛认可。

在合作洽谈方面，展会现场成果显著，围绕微翘曲涂胶显影机达成了 23 项明确的合作意向。来自国内外的多家半导体制造企业、科研机构等，对该设备表现出浓厚兴趣，其中 8 家企业已进入样品测试阶段，15 家企业计划在展会后进行实地考察。这些合作意向的达成，不仅为公司该设备的市场推广奠定了坚实基础，也体现了市场对产品和服务的高度认可。

展望未来：深耕核心技术，推动涂胶显影设备国产化

此次 SEMICON China 的圆满落幕，对苏州大族芯科技而言是一次成功的亮相，更是一个新的起点。作为大族激光构建半导体设备全产业链布局的重要一环，公司将以此次展会为契机，认真总结参展经验，吸纳针对微翘曲涂胶显影机收集到的 86 条行业反馈建议，不断优化设备性能，提升服务质量。

未来，苏州大族芯科技将继续聚焦泛半导体行业涂胶显影设备领域，依托大族激光集团的技术与资源优势，计划在未来一年内将该领域研发投入提升 30%，深耕微翘曲涂胶显影技术，着力打造更高质量、更具竞争力的涂胶显影设备解决方案。公司将积极布局泛半导体领域高端涂胶显影设备，重点攻关 5G 射频器件、车规级功率器件等领域的专用涂胶显影设备，致力于推动涂胶显影设备国产化进程，为全球泛半导体产业的发展贡献力量。

虽然展会已结束，但苏州大族芯科技与行业伙伴围绕微翘曲涂胶显影机的交流与合作将持续进行。公司已安排专人对接展会期间的意向客户，确保后续沟通顺畅。苏州大族芯科技期待与更多全球行业伙伴携手，共同探索微翘曲涂胶显影技术的应用机遇，共创产业美好未来。